電子級氯化氫是指純度高於99.999%的高純氯化氫氣體 。除了純度要求高之外 ，氯化氫氣體的質量要求也非常嚴格 。
    隨著微電子工業朝著大尺寸 、高集成度 、高均勻性和高完整性的方向快速發展 ，廣泛應用於單晶矽氣相拋光和外延基座腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求 。除了純度大於等於99.999%之外 ，氯化氫中的有機雜質如THC 、H2O和金屬離子的含量越低越好 。
    電子氯化氫主要用於外延生長前矽和砷化镓的高溫氣相刻蝕 ，去除鈉離子 。此外 ，高純氯化氫還用於金屬表麵的化學處理 、激光混合氣體 、薄膜生產和碳纖維表麵處理 。過去 ，我國大部分從美國 、日本等國家進口電子級氯化氫 ，但近年來 ，我國電子工業所需化學氣體的研發有了許多突破和發展 。推薦閱讀 ：影響氯化氫氣體純度的因素
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